上海伯東代理の米国カウフマン博士が設立したカウフマン社KRI線形イオン源はeH 400をモジュールとして使用し、広範囲の基板に応用でき、イオン源の長さは1メートルに達し、モジュール間の距離を厳格に調整することで最適な均一性とイオン流を実現できる。モジュールは平行配置であるため、ガス、電力、電子の3つ